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320nm连续紫外激光器
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261nm连续紫外激光器
光斑及椭圆度 功率稳定性<1%RMS over 3 hours...
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风冷一体化纳秒脉冲激光器
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1064/532nm 双波长双通道纳秒激光器
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光斑及椭圆度

功率稳定性<1%RMS over 3 hours

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光斑及椭圆度 功率稳定性<1%RMS over 3 hours...
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