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261nm连续紫外激光器

光斑及椭圆度 功率稳定性<1%RMS over 3 hours 产品特点:

窄线宽 极高频率稳定性
卓越光束质量与指向稳定性
适用于精密光学系统集成

产品应用:

半导体晶圆缺陷检测
精密光谱分析与测量
全息光刻与干涉计量

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         光斑及椭圆度

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         功率稳定性<1%RMS  over  3 hours

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